లితోగ్రఫీ అనేది నమూనా అవసరం లేని ఉపరితల ప్రాంతాలను మినహాయించి, రూపొందించిన నమూనాను నేరుగా లేదా మధ్యస్థ మాధ్యమం ద్వారా చదునైన ఉపరితలంపైకి బదిలీ చేయడానికి ఒక సాంకేతికత. మాస్క్ లితోగ్రఫీలో, డిజైన్‌లు ఒక ఉపరితలంపై ముద్రించబడతాయి మరియు a తో బహిర్గతం చేయబడతాయిలేజర్తద్వారా డిపాజిటెడ్ మెటీరియల్ దూరంగా ఉంటుంది, తదుపరి ప్రాసెసింగ్ కోసం సిద్ధంగా ఉంటుంది. సెమీకండక్టర్ పొరల భారీ ఉత్పత్తిలో ఈ లితోగ్రఫీ పద్ధతి విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది. పొరపై చిన్న లక్షణాల యొక్క పదునైన చిత్రాలను ప్రొజెక్ట్ చేయగల సామర్థ్యం ఉపయోగించిన కాంతి తరంగదైర్ఘ్యం ద్వారా పరిమితం చేయబడింది. నేడు అత్యంత అధునాతన లితోగ్రఫీ సాధనాలు లోతైన అతినీలలోహిత కాంతిని (DUV) ఉపయోగిస్తున్నాయి మరియు భవిష్యత్తులో ఈ తరంగదైర్ఘ్యాలు లోతైన అతినీలలోహిత (193 nm), వాక్యూమ్ అతినీలలోహిత (157 nm మరియు 122 nm) మరియు తీవ్ర అతినీలలోహిత (47 nm మరియు 13 nm) వరకు కొనసాగుతాయి. ) సంక్లిష్ట ఉత్పత్తులు మరియు IC, MEMS మరియు బయోమెడికల్ మార్కెట్‌ల కోసం తరచుగా డిజైన్ మార్పులు -- వివిధ రకాల విధులు మరియు సబ్‌స్ట్రేట్ పరిమాణాల కోసం డిమాండ్ పెరుగుతోంది -- ఉత్పత్తి వాల్యూమ్‌లను తగ్గించేటప్పుడు ఈ అత్యంత అనుకూలీకరించిన సొల్యూషన్‌ల తయారీ వ్యయాన్ని పెంచింది. సాంప్రదాయ మాస్క్-ఆధారిత (ముసుగు) లితోగ్రఫీ సొల్యూషన్‌లు ఈ అప్లికేషన్‌లలో చాలా వరకు ఖర్చుతో కూడుకున్నవి లేదా ఆచరణాత్మకమైనవి కావు, ఇక్కడ పెద్ద సంఖ్యలో మాస్క్ కిట్‌ల రూపకల్పన మరియు తయారీకి అవసరమైన ఖర్చు మరియు సమయం వేగంగా పెరుగుతాయి. అయినప్పటికీ, మాస్క్‌లెస్ లితోగ్రఫీ అప్లికేషన్‌లు చాలా తక్కువ UV తరంగదైర్ఘ్యాల అవసరానికి ఆటంకం కలిగించవు మరియు బదులుగా ఉపయోగించండిలేజర్నీలం మరియు UV శ్రేణులలో మూలాలు. ముసుగు లేని లితోగ్రఫీలో,లేజర్ఫోటోసెన్సిటివ్ పదార్థాల ఉపరితలంపై నేరుగా సూక్ష్మ/నానో నిర్మాణాలను ఉత్పత్తి చేస్తుంది. ఈ బహుముఖ లితోగ్రఫీ పద్ధతి ముసుగు వినియోగ వస్తువులపై ఆధారపడదు మరియు లేఅవుట్ మార్పులు త్వరగా చేయవచ్చు. ఫలితంగా, పెద్ద ప్రాంత కవరేజీ (300mm సెమీకండక్టర్ వేఫర్‌లు, ఫ్లాట్ ప్యానెల్ డిస్‌ప్లేలు లేదా PCBS వంటివి) ప్రయోజనాన్ని నిలుపుకుంటూ, ఎక్కువ డిజైన్ సౌలభ్యంతో వేగవంతమైన నమూనా మరియు అభివృద్ధి సులభం అవుతుంది. వేగవంతమైన ఉత్పత్తి అవసరాలను తీర్చడానికి,లేజర్లుమాస్క్‌లెస్ లితోగ్రఫీ కోసం ఉపయోగించే మాస్క్ అప్లికేషన్‌లకు ఉపయోగించే లక్షణాలను కలిగి ఉంటుంది: నిరంతర వేవ్ లైట్ సోర్స్ దీర్ఘకాలిక శక్తి మరియు తరంగదైర్ఘ్యం స్థిరత్వం, ఇరుకైన లైన్ వెడల్పు మరియు ముసుగు యొక్క చిన్న మార్పు. తక్కువ నిర్వహణ లేదా ఉత్పత్తి చక్రాల అంతరాయంతో దీర్ఘ-జీవిత స్థిరత్వం రెండు అనువర్తనాలకు ముఖ్యమైనది. DPSS లేజర్ అల్ట్రా-స్టేబుల్ ఇరుకైన లైన్‌విడ్త్, తరంగదైర్ఘ్యం స్థిరత్వం మరియు పవర్ స్టెబిలిటీని కలిగి ఉంది మరియు రెండు లితోగ్రఫీ పద్ధతులకు అనుకూలంగా ఉంటుంది. మేము అసమాన తరంగదైర్ఘ్యం స్థిరత్వం, ఇరుకైన పంక్తి వెడల్పు మరియు పొడవైన పొడి పొడవుల తరంగదైర్ఘ్యం పరిధిలో చిన్న పాదముద్రతో అధిక-శక్తి, సింగిల్-ఫ్రీక్వెన్సీ లేజర్‌లను రూపొందించాము మరియు తయారు చేస్తాము -- వాటిని ఇప్పటికే ఉన్న సిస్టమ్‌లలో ఏకీకరణకు అనువైనదిగా చేస్తుంది.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies.
Privacy Policy
